□ 电流-电压（IV）、电容-电压（CV）、脉冲IV测试等全面功能；

□ 电流测量分辨率zui高0.1 fA，测试精度30 fA；

□ IV-t测试模式，zui快采样率不低于65 us/点；

□ 支持脉冲模式下的最短脉冲宽度为10 ns；

□ 测试功能：IV、IV-t、PIV (脉冲IV)、Super-PIV (10 ns sampling)CV、阻抗、1/f (100 KHz)、Super-1/f (1 MHz)、Solar cell、FET、BJT、EL等  。

□ 高精度和高分辨率的测量能力；

□ 快速测量和分析，支持多种测量模式；

□ 模块化设计，易于升级和扩展：配置＞10个插槽，支持zui大吸收电流至4A；

□ 适用器件、材料，有源/无源元器件等类型的电子器件；

□ 直观的用户界面，简化操作流程；

□ 支持自动化测试和数据分析。

Ⅰ-Ⅴ 源测量单元 (SMU)

大功率 SMU：

• 电压范围: ±100 V-200V

• 直流电流范围: ±1A

• 脉冲电流范围: ±2A±3A

• 最小电流分辨率: 0.1fA

• 最小电压分辨率: 100nV

• 电流测量量程: 10fA

• 电压测量量程分辨率: 0.5uV

• 直流功率: 20W 或者 40W 可选

• zui大脉冲功率: 480W (zui大电压 160V, zui大电流 3A)

• 脉冲极限最小宽度: 50 us, 可输出 50us 脉冲测试

• 支持四象限测试

• 支持 2 线或 4 线测试

• 支持 IV-T 测试模式，zui快采样率 550ns 每点，数据存储点可以设置为 10K, 1M, 10M 或 100M

中等功率直流 SMU：

• 电压范围: ±40-±50 V

• 电流范围: ±1.5A

• 最小电流分辨率: 400 pA

• 最小电压分辨率: 4uV

• 电流测量分辨率: 10fA

• 电压测量分辨率: 0.5uV

• 支持四象限测试

• 支持 2 线或 4 线测试

小功率直流 SMU：

• 电压范围: ±14 V

• 电流范围: ±40 mA

• 最小电流分辨率: 200 nA

• 最小电压分辨率: 60 uV

• 电流测量分辨率: 10fA

• 电压测量分辨率: 0.5uV

• 支持四象限测试

• 支持 2 线或 4 线测试

• 支持源表数量：1-5 可选

• 前置放大：可配置前置放大，SMU 电流测量分辨率提高至 0.1fA

 C-V 多频电容单元 (CVU)

• AC 阻抗测量是 CV, C-f, C-t

• 1 kHz- 10 MHz 宽范围，最小频率分辨率 1mHz

• 电容测试精度 (介电损耗 D): @1MHz±0.3%, 10pF@1MHz±0.15%, 10pF@100kHz±0.2%

• ±30 V (60Vpp), 内建 DC 偏置范围可以扩展到 ±210V (420V 差分)

• 具有 CV, CV 自动测试测量功能

• 支持 CV, C-t 电容测量扫描方

 脉冲式 I-V 超快脉冲测量单元 (PMU)

• 两个独立的高速脉冲 IV 源和测量通道

• 200 MSa/s, 5 ns 样点间隔

• ±40 V(80V p-p), ±800 mA

• 瞬态波形捕获模式

• 任意波形发生器，10 ns 可编程分辨

高压脉冲发生器单元 (PGU)

• 两个高速脉冲电压源通道

• ±40 V(80V p-p), ±800 mA

• 任意波形发生器，10 ns 可编程分辨率

Ⅰ-Ⅴ/C-V 多通道开关模块 (CVIV)

• 在 IV 源和 CV 之间切换，无需抬起探针

• 任意资源 CV 测量，无需抬起探针

• 支持 ±210 V DC 偏置

1n 噪声测试模块 (FNU)

• 速度 8~10s/bias

• 带宽 1Hz~100kHz

• 噪声基底: <120uA@2Hz

• 全带宽下的测量偏差 2%