微泰VT321半导体参数分析仪介绍：

VT321半导体参数测试仪，支持SMU、LCR、PGU、PMU等PXIe标准模块，满足复杂测试需求。配备15.6英寸高清屏，预装Windows 10及VTNext软件，提供I-V、C-V、脉冲I-V测试功能，内置MOSFET、BJT、二极管、电阻及电容等丰富的器件类型库，为现代半导体、材料和工艺表征提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。

是国产设备全面对标国际旗舰的标志性产品。其核心 IV 性能实现了 ±200V 宽电压范围覆盖，电流灵敏度达到 0.1fA 的行业水准，直流电流范围 ±1A、脉冲电流可达 ±3A，采样率高达1.8MS/s；CV测试覆盖 20Hz-10MHz 超宽频率范围，PGU 脉冲单元最小脉宽可达 25ns，可编程分辨率低至 2.5ns。从核心指标来看，VT321已实现对泰克 4200A-SCS、是德 B1500A 的全面对标，补齐了国产设备在高精度、全功能集成上的核心短板，目前已获得多家高校实验室与功率器件企业的批量采购。

IV技术指标

电压范围：±200V

电压灵敏度：100nV

电流范围：±1A(直流)，±3A(脉冲）

电流灵敏度：0.1fA

采样率：1.8MS/s

CV技术指标

测试频率：20Hz-10MHz

AC 信号源：电压：10mVrms-2Vrms (f≤1MHz)、1Vrms (f>1MHz)；电流：50 pArms-100mArms

DC偏置：电压：±40V；电流：±100mA

PGU技术指标

频率范围：0.1Hz-20MHz

脉冲周期：可编程范围50ns-10s；分辨率：10ns

脉冲宽度：可编程范围 25ns-(脉冲周期－25ns）；分辨率：2.5ns（Tr and Tf≤8 μs）、10ns（TrandTf>8 us)。